2026年青海黃河上游水電開發有限責任公司太陽能電池及組件研發實驗室鈣鈦礦電池研發平臺建設項目真空蒸鍍設備招標
1.招標條件
招標項目名稱：青海黃河上游水電開發有限責任公司太陽能電池及組件研發實驗室鈣鈦礦電池研發平臺建設項目真空蒸鍍設備采購項目

招標人：國家電投集團黃河上游水電開發有限責任公司

項目業主：青海黃河上游水電開發有限責任公司

立項情況：已立項

項目資金來源：資金由項目業主負責，現已落實到位

項目已具備招標條件，現進行招標

(登錄后查看)受招標人委托，就對下述標段進行招標。

2.項目概況與招標范圍

2.1項目概況

詳見招標文件。

2.2招標范圍

標段名稱

招標范圍

工期要求

交貨地點

信息服務費（元）

青海黃河上游水電開發有限責任公司太陽能電池及組件研發實驗室鈣鈦礦電池研發平臺建設項目真空蒸鍍設備采購項目

DNYZC-2026-01-12-011-02

招標范圍

（1）主要設備：采購真空蒸鍍設備1套，主要包括基片裝置、蒸發沉積系統、真空系統、膜厚監控系統、電氣控制系統及水冷系統等，同時包含設備所必須的安裝附件及輔助設備、隨機文件、技術資料（包括操作手冊、使用指南、維修指南或服務手冊），負責運輸、安裝、調試、檢驗、驗收并提供相應的技術服務與質量保證、售后服務、技術培訓等。

（2）備品備件：掩膜版、鎢舟、鉬舟、石英坩堝、晶振片、CF35銅墊圈、匹配設備規格的密封圈等；

（3）專用工器具：拆卸、安裝、檢修設備時專用的工器具1套（包含外六方扳手、內六方扳手、螺絲刀、扳手等工具）。

構成設備的任何部件、組件和裝置如果在本供貨范圍及工作內容中沒有提到，但對該設備的安全可靠運行是必需的，也應包括在供貨范圍及工作內容之內。

2.3主要配置及技術參數

2.3.1真空蒸鍍設備主要配置

序號

性能指標名稱

技術要求

備注

1.1

真空鍍膜室

1.1.1

材料及結構

真空室采用304不銹鋼，腔體內壁電解拋光處理，減少表?放?；須保留前后門，便于對腔體內部進行維護


1.1.2

觀察窗

由保護玻璃、硬質玻璃組合而成，需符合X射線防護國家標準


1.1.3

腔體漏率

漏率優于5.0×10-10Pa.m3/S，保壓12小時后，壓強≤5Pa。


1.2

蒸鍍真空系統

1.2.1

極限真空度

系統潔凈、空置時優于5×10-5pa


1.2.2

分子泵

抽氣速率不小于3000L/s


1.2.3

機械泵

抽氣速率不小于25m3/h


1.2.4

真空測量時間

大氣環境萬級潔凈間氛圍下從常壓抽至≤5×10-4pa時間≤30min；


1.2.4

極限真空測量

測量范圍從1×105Pa到5.0×10-5Pa


1.2.4

真空密封

采用金屬密封和氟橡膠圈密封


1.3

蒸發室基片裝置

1.3.1

基片材料

導電玻璃


1.3.2

樣品尺寸

400mm×400mm的樣品且可向下兼容更多尺寸


1.3.3

基片托盤

通過電機旋轉0~30rpm可調


1.4

蒸發源和蒸發電源

1.4.1

蒸發源

配備2組金屬蒸發源和4組有機蒸發源，可兼容蒸鍍金屬、有機及無機材料；源與源之間均配有防止交叉污染的防污板


1.4.2

金屬蒸發電源

配備可編程的直流穩壓金屬蒸發電源1套，金屬蒸發電源功率≥1.5KW及以上，最高升溫溫度可達1500℃，且通過電流控制方式，精確到0.1A，并實現蒸鍍速率0.01?/s的精度顯示，可進行電流、電壓模式的任意切換和具有水冷控制


1.4.3

有機蒸發電源

配備有機蒸發電源1套；可通過電流或PID智能溫控方式進行控制（采用電流控制方式時需精確到0.1A，并實現蒸鍍速率0.01?/s的精度顯示，可進行電流、電壓模式的任意切換和具有水冷控制；采用PID智能溫控方式時控溫精度±1℃）；


1.4.4

控制系統

采用PLC+PC控制方式


1.4.5

安全保護措施
**信息由招標與采購網發布**此行內容正式會員可見，請登錄中國招標與采購網后查看**
缺水欠壓檢測與保護、相序檢測與保護、溫度檢測與保護、真空系統檢測與保護。對泵、電極等缺水、過流過壓、斷路等異常情況進行報警并執行相應保護措施；完善的程序互鎖，完備的防誤操作設計及保護。


1.5

膜厚監測系統

1.5.1

膜厚儀

不少于1組膜厚儀，不少于2套膜厚檢測探頭


1.5.2

蒸發速率測量精度

0.1~0.5A/s(≤±10%)，0.6~10.0A/s(≤±5%)


1.5.3

膜厚儀測量精度

膜厚儀測量精度優于±0.01?/s，若鍍膜達到設置厚度，可自動切斷電源，停止鍍膜且擋板關閉


1.5.4

溫度控制精度

±1℃（RT~700℃）


1.5.5

厚度測量精度

優于±1?；具備與電源聯鎖功能


1.5.6

片內膜厚不均勻性

≤5.0%（樣品尺寸400mm×400mm，且在20nm~100nm范圍內的薄膜材料：包括但不限于金、銀、銅、鋁、C60、BCP、LiF2、MgF2等材料，且由招標方指定材料進行驗證），測試方法：薄膜有效區范圍內3×3排列9點測量：不均勻性=（膜厚最大值-膜厚最小值）/（膜厚最大值+膜厚最小值）*100%


1.5.7

片間膜厚不均勻性

≤5.0%（樣品尺寸400mm×400mm，且在20nm~100nm范圍內的薄膜材料：包括但不限于金、銀、銅、鋁、C60、BCP、LiF2、MgF2等材料，且由招標方指定材料進行驗證），測試方法：薄膜有效區范圍內3×3排列9點測量：不均勻性=（膜厚最大值-膜厚最小值）/（膜厚最大值+膜厚最小值）*100%。


1.6

自動鍍膜系統

開啟后根據用戶設置的升降溫和蒸發速率參數，自動升溫加熱蒸發材料，按照制定速率蒸鍍，到達設定厚度后自動關閉擋板，并降溫


1.7

水冷系統

1.7.1

冷水機

控溫范圍：5℃~30℃


1.8

工藝支持

投標人提供C60和BCP作為鈣鈦礦器件電子傳輸層的蒸鍍工藝，保證招標方在其他薄膜層制備條件不變時采用該工藝制備電子傳輸層的鈣鈦礦太陽能電池性能不低于招標方使用旋涂法制備PCBM和BCP作為電子傳輸層的性能。


注：其他未列入本表的參數應能滿足設備整體工藝安全運行性能，并符合設備配置參數及國家標準

合同簽訂生效后90日內整批交貨（包含備件及工具）（詳見第二卷第五章供貨要求）

本項目位于陜西省

300

注：以上為參考參數和數量,具體參數、數量及招標范圍以招標文件相關內容為準。

3.投標人資格要求及業績要求

標段名稱

資格要求及業績要求

青海黃河上游水電開發有限責任公司太陽能電池及組件研發實驗室鈣鈦礦電池研發平臺建設項目真空蒸鍍設備采購項目

DNYZC-2026-01-12-011-02

投標人資格要求

投標人基本資格要求

（1）投標人具有獨立訂立合同的資格；

（2）投標人經營狀況良好，具有良好的資信和信用（以“信用中國”網站網站查詢為準,沒有被列入嚴重失信主體名單），沒有處于會導致中標后無法履行合同的被責令停產停業、財產被接管、凍結、破產狀態；

（3）財務狀況及資信

近三年財務和資信狀況良好。沒有財產被接管、凍結或處于破產狀態。應提供銀行出具的資信證明、納稅人資格證明。

（4）投標人近36個月內(含，自投標截止日起往前推算)不存在騙取中標、嚴重違約及因自身的責任而使任何合同被解除的情形；

（5）單位負責人為同一人或者存在控股、管理關系的不同單位不得在同一標段投標；

專用資格條件

資質要求

投標人必須是在中華人民共和國市場監管部門注冊的，具有獨立法人和一般納稅人資格的真空蒸鍍設備制造企業或代理企業。代理企業必須提供真空蒸鍍設備制造企業出具的有效授權書。同一貨物/產品（同一品牌、同一型號）只能有一家投標人。如為代理商投標，一個制造商對同一品牌、同一型號的貨物，僅能委托一個代理商參加投標，否則相關投標均做無效處理。

業績要求

投標人應具有近3年內（自投標截止日起往前推算，以竣工驗收時間為準）完成至少3臺及以上同類型和功能的有效加工幅面不小于30mm*30mm蒸鍍設備供貨業績。【需提供合同復印件（包括合同首頁、承包范圍、簽字頁）、竣工證明（竣工驗收證明或業主出具的證明文件或其他有效證明資料）】

4.資格后審

招標人將根據投標人提供的投標文件在評標階段對其進行資格后審，對資格審查不合格投標人，將不進入下一階段評審，其后果由投標人自行承擔。

5.招標文件的獲取

5.1招標文件發售方式本項目實行在線售賣招標文件。

5.2招標文件發售時間2026年1月12日23:59時至2026年1月18日23:59時（北京時間）。

本招標項目僅供正式會員查看，您的權限不能瀏覽詳細信息，請聯系辦理會員入網事宜，成為正式會員后可下載詳細招標、報名表格、項目附件和部分項目招標文件等。
聯系人：郝亮
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